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超声波扫描显微镜SAM 300

产品类别:超声波扫描显微镜C-SAM

产品型号:S300

产品描述:

超声扫描显微镜(SAT)是一种利用超声波为传播媒介的无损检测成像设备,主要利用高频超声波,对各类半导体器件、材料进行检测,能够检测出样品内部的气孔、裂纹、夹杂和分层等缺陷,并以图形的方式直观展示。在扫描过程中,不会对样品造成损伤,不会影响样品性能,可有效满足新能源、半导体、电力电子、热管理材料、金刚石复合材料、碳纤维复合材料等行业需求。

服务热线:400-630-6556

  • 产品介绍
  • 产品参数
  • X-ray成像
产品特点:

1、 具备A(点扫描)、B(纵向扫描)、C(横向扫描)、多层扫描、Tray-托盘扫描,厚度测量等系列扫描模式。

2、 具备定量测分析功能,以图像方式直观显示被测件内部缺陷的位置、形状和大小,并进行缺陷的尺寸和面积统计,自动计算缺陷占所测量面积的百分比;具备缺陷尺寸标识;厚度与测距等功能。

3、 具备图像着色功能,可根据相位翻转自动着色;可根据灰度等级手动着色;可根据厚度变化,自动着色;

4、 扫描轴采用直线电机和光栅尺,可以获得更高的运动精度,[敏感词]分辨率达0.1μm。

5、 适用于单个器件的快速扫描分析,也可批量放置样品同步进行缺陷识别,快速筛选出不合格品。

6、 可兼容1~230MHz的超声探头。

7、 检测软件自主研发,中英文界面,可根据客户需求对功能进行持续升级。

 

行业应用:

适用于水冷散热器、IGBT模组、陶瓷基板、金刚石复合材料、碳纤维复合材料、电器焊接件、陶瓷材料、靶材等领域。

序号 机电特性 规格型号
1 整机尺寸 1000mm×900mm×1400mm
2 水槽尺寸 620mm×400mm×150mm
3 有效扫描范围 500mm×280mm×120mm
4 [敏感词]扫描速度 1000mm/s
5 图像推荐分辨率 1~4000um
6 定位精度 X/Y≤±0.5μm,Z≤±5μm
7 重复定位精度 X/Y≤±0.01mm,Z≤±0.02mm

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