电学检测原理：通过给半导体器件施加电压或电流，测量其电学参数，如电阻、电容、电感、电流 - 电压特性等，来判断器件的性能和质量。例如，半导体电阻式传感器就是利用半导体材料的电阻变化来检测物理量的变化 。半导体检测设备
光学检测原理：利用光与半导体材料的相互作用，如反射、折射、吸收、散射等，来获取半导体的信息。例如，通过分析半导体材料对特定波长的光的吸收程度，可以确定材料的成分和浓度；利用激光散射技术可以检测半导体表面的粗糙度和缺陷 。
声学检测原理：利用超声波在半导体材料中的传播特性，如声速、衰减、反射等，来检测材料的内部结构和缺陷。声学检测技术对于检测半导体材料中的微小缺陷和分层等问题具有较高的灵敏度。
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